オゾン分解器、及びこれを用いた紫外線吸収式オゾン計

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-137356
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304378
出願日： 1995年05月11日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】二酸化マンガンをオゾン分解触媒として用いた従来の紫外線吸収式オゾン計の耐久性、測定誤差等に関する欠点を克服した紫外線吸収式オゾン計の提供。【構成】気密性を有する中空状部材の一端に試料ガス流入口を設け、他端に試料ガス流出口を設け、さらにこの中空状部材の内部に、上記試料ガス流入口から流入した試料ガスが接触可能な態様で、還元型光応答半導体特性を有する金属化合物を配置してなることを特徴とするオゾン分解ユニット、このオゾン分解ユニットに励起用光源を組み合わせてなるオゾン分解器、及びこのオゾン分解器をオゾン分解手段として用いた紫外線吸収式オゾン計。

請求項（抜粋）：

気密性を有する中空状部材の一端に試料ガス流入口を設け、他端に試料ガス流出口を設け、さらにこの中空状部材の内部に上記試料ガス流入口から流入した試料ガスが接触可能な態様で還元型光応答半導体特性を有する金属化合物を配置してなることを特徴とするオゾン分解ユニット。

IPC (3件)：

G01N 31/00 , G01N 21/33 , G01N 31/10

FI (3件)：

G01N 31/00 L , G01N 21/33 , G01N 31/10

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