合焦位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200771
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056081
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】合焦位置検出時間を短縮することができ、かつ、ノイズの影響を受けない合焦精度の高い合焦位置検出装置を提供することを目的とする。【構成】対物レンズ(4)の結像位置と試料(6)との相対位置を対物レンズ(4)の光軸方向に変化させる変化手段(4,11,13)と、変化手段(4,11,13)が前記相対位置を変化させている時の、複数の相対位置における試料(6)に対する焦点調節状態を表す評価値を算出する演算手段(7,10,11)と、同一評価値を与える2つの前記相対位置を、異なった複数の評価値について求める第一手段(11)と,この第一手段(11)により求められた複数の相対位置に基づいて、試料(6)に対する合焦位置を算出する算出手段(11)と、を備えた合焦位置検出装置。

請求項（抜粋）：

対物レンズの結像位置と試料との相対位置を前記対物レンズの光軸方向に変化さる変化手段と、前記変化手段が前記相対位置を変化させている時の、複数の相対位置における前記試料に対する焦点調節状態を表す評価値を算出する演算手段と、同一評価値を与える2つの前記相対位置を、異なった複数の評価値について求める第一手段と、前記第一手段により求められた複数の相対位置に基づいて、前記試料に対する合焦位置を算出する算出手段と、を具備したことを特徴とする合焦位置検出装置。

IPC (5件)：

G02B 7/28 , G01M 11/02 , G02B 21/00 , G02B 27/16 , H01J 37/21

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