特許
J-GLOBAL ID:200903061168712051
薄膜素子の端子電極
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
牧 克次
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-031696
公開番号(公開出願番号):特開平8-203026
出願日: 1995年01月27日
公開日(公表日): 1996年08月09日
要約:
【要約】【目的】 薄膜素子のリード線部に設ける端子電極をショートを生じさせない任意の位置に形成できるようにするとともに、端子電極へのワイヤーボンディングをクッション性良くできるようにし、さらに経済的に端子電極を製造できるようにした。【構成】 端子電極は、リード線16の端子電極取出し位置に、リード線16の上面から垂直に起立する支柱部19と、その支柱部19の上部から水平な所定方向に張出した突出部20とから形成されている。支柱部19と突出部20のそれぞれの上端面は同一平面上に形成されて、それら上端面に金製膜のパッド21が設けられ、ワイヤーボンディング可能な広さのパッドに作成されている。
請求項(抜粋):
薄膜技術により形成される素子のリード線部分に設ける端子電極であって、リード線の端子電極取出し位置に、リード線の上面から垂直に起立する支柱部と、その支柱部の上部から水平な所定方向に張出した突出部とから、端子電極が形成されており、支柱部の中心と突出部の中心が同一でなく、支柱部と突出部が同一材料で形成されていることを特徴とする薄膜素子の端子電極。
IPC (4件):
G11B 5/31
, G01R 33/09
, G11B 5/60
, H01L 43/08
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