特許

J-GLOBAL ID：200903061175173140

混合ガス供給装置

発明者： 宮野 好徳 ,  斉藤 日出夫 ,  西原 浩巳
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131471
公開番号（公開出願番号）：特開平9-317999
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 供給ガスの種類あるいは流量調整範囲の変更を容易に行うことが可能な混合ガス供給装置を提供すること。【解決手段】 本発明の混合ガス供給装置は;ガスの種類毎に設けられ、流量調整弁13を内蔵し、ガスの種類毎に供給量を調整する流量調整ユニット1と;各流量調整ユニット1を介して供給される各種類のガスを混合して、外部へ供給するガス供給メインユニット2と;各流量調整ユニット1とガス供給メインユニット2との間を接続する接続配管28と;各流量調整ユニット1及び前記ガス供給メインユニット2を収納するメインフレーム3と;を備え、各流量調整ユニット1及びガス供給メインユニット2は、メインフレーム3に対して着脱可能に取り付けられるとともに;各流量調整ユニット及びガス供給メインユニットへのガス配管の接続を急速継手16、17、21、25を介して行う。

請求項（抜粋）：

ガスの種類毎に設けられ、流量調整弁を内蔵し、ガスの種類毎にその供給量を調整する流量調整ユニットと、前記各流量調整ユニットを介して供給される各種類のガスを混合して、外部の消費施設へ供給するガス供給メインユニットと、前記各流量調整ユニットと前記ガス供給メインユニットとの間を接続する接続配管と、前記各流量調整ユニット及び前記ガス供給メインユニットを収納するメインフレームとを備えた混合ガス供給装置であって、前記各流量調整ユニット及び前記ガス供給メインユニットは、前記メインフレームに対して着脱可能に取り付けられるとともに、前記各流量調整ユニットへガスを供給する受入配管、前記接続配管、及び前記ガス供給メインユニットから外部の消費施設へガスを供給する送出配管は、前記各流量調整ユニットあるいは前記ガス供給メインユニットに対して、着脱可能な管継手を介して接続されていることを特徴とするガス供給装置。