特許

J-GLOBAL ID：200903061185112033

球状デバイス露光装置及び製造方法

発明者： 薮 修一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057609
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256123
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 球状デバイス露光に好適な露光装置及び製造方法を提供すること。【解決手段】 球状デバイス材料をスピンドルでクランプし、スピンドル軸回りに回転させながら、ビーム(例えば電子ビーム)をフォーカスさせながらスキャン露光させること。

請求項（抜粋）：

球状デバイス材料を球の中心軸の回りに回転させる回転手段と、ビームを球面位置にフォーカスさせる手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 27/00 301

FI (2件)：

H01L 21/30 541 Z ,  H01L 27/00 301 Z