スラブ光導波路を利用した光吸収スペクトル測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215742
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075639
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】光の入射、及び出射角度を容易に設定することができ、高感度の光吸収スペクトルの測定が可能である、スラブ光導波路を利用した光吸収スペクトル測定装置を提供する。【構成】光源、並びに入射光側レンズ、入射光側レンズと所定間隔を有する入射光側プリズム、光導波路層を有するスラブ光導波路、出射光側プリズム、及び出射光側プリズムと所定間隔を有する出射光側レンズからなる試料測定部を有する光吸収スペクトル測定装置。

請求項（抜粋）：

光源、光源から発射された光を集光する入射光側レンズ、該入射光側レンズと所定間隔を有し、かつ光導波路層内に該入射光レンズで集光した光を導入する入射光側プリズム、該入射光側プリズムを出射した光を導入する光導波路層を有するスラブ光導波路、該光導波路層内部で全反射を繰返した光を導入する出射光側プリズム、及び該出射光側プリズムと所定間隔を有し、かつ該出射光側プリズムから出射した光を導入する出射光側レンズよりなる試料測定部を有し、試料測定部からの出射光をとり出しスペクトルを測定するようにしたことを特徴とするスラブ光導波路を利用した光吸収スペクトル測定装置。

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭61-191965
特開昭64-059018
特開昭62-049240

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