圧電マルチアクチュエータの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068025
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264856
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】圧電素子の個別電極面をあらかじめ個別化する工程を無くし、且つ圧電素子の個別電極面と接点部との接合部位における位置ずれの心配をする必要がない圧電マルチアクチュエータの製造を可能とする。【構成】基板11上に導体シート15と積層型圧電素子21とを並列に設置し、積層型圧電素子21の電極面25が露出したし側面と、前記導体シート15内の導電性膜19の露出部23との間に導電性材料27を設置する。その後、前記圧電素子21の溝加工と前記導電性膜19と前記導電性材料27の個別化を同時に行って、個別圧電素子とその個別圧電素子各々に対応して導通する接点部とを有する圧電マルチアクチュエータ31を形成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一部が分極された圧電材料からなる個別駆動部と、前記圧電材料に電界を与える為の個別電極面と、前記個別電極面へ選択的に電圧を印加する為に少なくとも前記個別駆動部に対応して設けられた接点部とをそれぞれ複数組具備し、前記接点部に電気信号を与え、前記電気信号が接点部を通して前記個別電極面に達することにより、前記個別駆動部をアクチュエートさせる圧電マルチアクチュエータを作製する圧電マルチアクチュエータの製造方法であって、圧電材料に少なくとも1対の電極面を備えた圧電素子と、導電性膜とを基板上に形成する第1工程と、前記圧電素子の電極と導電性膜との間に導電性材料を設置させて、両者を電気的に接続する第2工程と、前記圧電素子を溝加工により複数に分断すると同時に、前記電極面,前記導電性膜及び前記導電性材料をも分断し、複数の個別駆動部の個々に対応する前記接点部を形成する第3工程とを有することを特徴とする圧電マルチアクチュエータの製造方法。

IPC (4件)：

H01L 41/22 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/09

FI (3件)：

H01L 41/22 Z , B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 C

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