特許

J-GLOBAL ID：200903061198445368

絶対圧型圧力センサ

発明者： 藤原 剛
出願人/特許権者： コパル電子株式会社
代理人 (1件)： 小林 榮
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340402
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149815
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 ゲージ圧型圧力センサと絶対圧型圧力センサのハウジングの共用化を計る。【構成】 圧力導入側ハウジング1と圧力封止側ハウジング2とで形成する空洞S内に、表面にダイアフラム10と真空室11を、底面にセンサーチップ4方向へのびた水平圧力導入溝12を設けた台座14を収容し、台座の下面にチップ接着層3を形成し、この台座14を、ゲージ圧型圧力センサに採用した圧力導入側ハウジング1bと大気開放孔7bを閉鎖した圧力封止側ハウジング2bで形成する空洞S内へ収容することにより、ゲージ圧型圧力センサのハウジング1b,2bと絶対圧型圧力センサのハウジング1,2を共用可能となした構成。

請求項（抜粋）：

圧力導入側ハウジングと圧力封止側ハウジングとで形成する空洞内に、表面にダイヤフラムと真空室を、底面にセンサーチップ方向へのびた水平圧力導入溝を設けた台座を収容し、台座の下面にチップ接着層を形成してなる絶対圧型圧力センサ。