特許

J-GLOBAL ID：200903061199888077

加速度スイッチ

発明者： 村木 均至 ,  村手 真 ,  糸魚川 貢一
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-200594
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022765
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】大型化を防止しつつ、小さい加速度の印加で動作可能な加速度スイッチを提供する。【解決手段】慣性錘8の長手方向の両側部には、一対の切り欠き部9が設けられている。これら切り欠き部9は、慣性錘8の両側部において、同慣性錘8の中心からずれた位置に設けられている。慣性錘8は、切り欠き部9間に設けられたジョイント部8aと、そのジョイント部8aの両端に設けられた錘本体8b及びバランサ部8cとによって構成されている。各切り欠き部9の奥面9aには、それぞれビーム10の一端が接続されている。そして、各ビーム10の他端は、それぞれシリコンチップ2に接続されている。よって、慣性錘8は、ビーム10によって軸支され、このビーム10を軸心として回動可能になっている。

請求項（抜粋）：

加速度の印加により可動部分が変位し、同可動部分に設けられた可動電極を固定電極に接触させて接点を閉じる加速度スイッチにおいて、前記可動部分は、シリコンチップ上に表面マイクロマシーニング技術を用いて形成されたものであって、かつ、切り欠き部を有する慣性錘と、その切り欠き部が設けられた部位に接続され、前記慣性錘を回動可能に支持する梁部とを含んで構成されたものであることを特徴とする加速度スイッチ。

IPC (4件)：

G01P 15/135 ,  B81B 3/00 ,  H01H 35/14 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01P 15/135 ,  B81B 3/00 ,  H01H 35/14 B ,  H01L 29/84 Z

Fターム (16件)：

4M112AA02 ,  4M112AA07 ,  4M112CA25 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA04 ,  4M112DA07 ,  4M112DA09 ,  4M112DA10 ,  4M112DA12 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  5G056BD41