特許

J-GLOBAL ID：200903061200335850

ガラス基板ダイシング用粘着シートおよびガラス基板ダイシング方法

発明者： 大川 雄士
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-168820
公開番号（公開出願番号）：特開2004-010829
出願日： 2002年06月10日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】形状性に優れた切断小片が得られ、しかも切断小片にチッピングやチップ飛びが発生しにくい、ガラス基板ダイシング用粘着シートを提供することを目的とする。【解決手段】基材フィルム上に粘着剤層が設けられているガラス基板ダイシング用粘着シートであって、基材フィルムが、厚さ130μm以上、かつ引張り弾性率が1GPa以上であり、粘着剤層の厚さが9μm以下であることを特徴とするガラス基板ダイシング用粘着シート。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材フィルム上に粘着剤層が設けられているガラス基板ダイシング用粘着シートであって、 基材フィルムが、厚さ130μm以上、かつ引張り弾性率が1GPa以上であり、 粘着剤層の厚さが9μm以下であることを特徴とするガラス基板ダイシング用粘着シート。

IPC (2件)：

C09J7/02 ,  B28D7/04

FI (2件)：

C09J7/02 Z ,  B28D7/04

Fターム (13件)：

3C069AA01 ,  3C069CB01 ,  3C069EA01 ,  4J004AA01 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AA15 ,  4J004AB07 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004EA01 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08