特許
J-GLOBAL ID:200903061202533587
反射防止膜付き基体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡辺 望稔
, 三和 晴子
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2006301471
公開番号(公開出願番号):WO2006-080502
出願日: 2006年01月30日
公開日(公表日): 2006年08月03日
要約:
可視光の透過率が高く、反射率が低く、膜抵抗率が高く、熱処理を受けてもクラックが発生しない反射防止膜付き基体の提供。 透明基体と、屈折率が1.90以上の高屈折率材料からなる被膜と屈折率が1.56以下の低屈折率材料からなる被膜とを前記透明基体側からこの順に偶数層積層してなる反射防止膜とを有する反射防止膜付き基体であって、前記高屈折率材料からなる被膜の少なくとも1層が、酸窒化チタン層の単層膜(a)、酸化チタン層と酸化ジルコニウム層とを含む積層膜(b)または酸窒化チタン層と酸化ジルコニウム層とを含む積層膜(c)である、反射防止膜付き基体。
請求項(抜粋):
透明基体と、屈折率が1.90以上の高屈折率材料からなる被膜と屈折率が1.56以下の低屈折率材料からなる被膜とを前記透明基体側からこの順に偶数層積層してなる反射防止膜とを有する反射防止膜付き基体であって、
前記高屈折率材料からなる被膜の少なくとも1層が、
酸窒化チタン層の単層膜(a)、
酸化チタン層と酸化ジルコニウム層とを含む積層膜(b)または
酸窒化チタン層と酸化ジルコニウム層とを含む積層膜(c)
である、ことを特徴とする反射防止膜付き基体。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (5件):
2K009AA02
, 2K009BB02
, 2K009CC03
, 2K009DD04
, 2K009DD06
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