特許
J-GLOBAL ID:200903061202839902
光書込み反射読出し型空間光変調素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
今間 孝生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-091480
公開番号(公開出願番号):特開平8-262481
出願日: 1995年03月25日
公開日(公表日): 1996年10月11日
要約:
【要約】【目的】 斜め光を含む読出し光に対してもコントラスト比の低下しない画像が得られる光書込み反射読出し型空間光変調素子を提供する。【構成】 光書込み反射読出し型空間光変調素子SLMにおける光導電層部材PCLと光変調材層部材PMLとの間に設ける誘電体ミラーDMLを、前記した光導電層部材PCLが最大感度を示す光波長より50ナノメートル乃至150ナノメートルだけ長波長の光波長を中心波長とする誘電体反射層dmを付加した構成とする。読出し光の光路中の光学部品での乱反射、空間光変調素子の製作過程中に素子中に混入した微細な異物、素子中に発生した欠陥、傷によっ生じる散乱光等の原因で、読出し光中へ光軸に斜めの光が含まれていても、誘電体反射層で良好に反射し、読出し光中の斜め光を無くするために光学系を精密な構成としたり、装置の防塵を完全にする等の処置が不要となり、また空間光変調素子の歩留りを低下させなくともよく、遮光膜として有害で高価なCdTeを使用した場合でも薄い膜厚にできるので低価格な装置を容易に提供できる。
請求項(抜粋):
少なくとも、光導電層部材と誘電体ミラーと光変調材層部材とを積層して構成してなる光書込み反射読出し型空間光変調素子において、光導電層部材と光変調材層部材との間に、前記した光導電層部材が最大感度を示す光波長よりも、50ナノメートル乃至150ナノメートルだけ長波長の光波長を中心波長とする誘電体反射層を付加して構成した誘電体ミラーを設けたことを特徴とする光書込み反射読出し型空間光変調素子。
IPC (4件):
G02F 1/135
, G02F 1/03 504
, G02F 1/13 505
, G02F 1/1335 520
FI (4件):
G02F 1/135
, G02F 1/03 504
, G02F 1/13 505
, G02F 1/1335 520
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