特許
J-GLOBAL ID：200903061213109132
走査幅検出装置および走査型顕微鏡の倍率表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-175156
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019173
出願日： 1991年07月16日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【目的】 被走査体と走査部とを往復相対移動させて、該走査部により被走査体を直線的に走査する装置において、走査初期位置を設定せずに、有効走査幅を正確に検出する。【構成】 走査時に同時にグリッドパターンを光で走査し、そこを経た光を検出する光検出器28’の出力Sgを2値化して、デジタル変位データDを得る。このデータDにおける、グリッドパターン上の等ピッチ特定点を示すデータの順位xと、それらの各サンプリング順位yとの関係を1次式y=ax+bに近似させる。そしてこの1次式の係数aの逆数1/aに、比例定数p・Nsを乗じる(pはグリッドパターンの光反射部材の並設ピッチ、Nsはデジタル変位データDを形成するための信号Sgの有効走査期間内サンプリング数)。
請求項（抜粋）：
被走査体と走査部とを往復相対移動させて、該走査部により被走査体を直線的に走査する装置において、前記被走査体および走査部の一方と一体化された、複数の光反射部材または光遮断部材が前記往復移動の方向に一定ピッチで並設されてなるグリッドパターンと、前記被走査体および走査部の他方と一体化されて、前記グリッドパターンに光を照射する投光器と、このグリッドパターンで反射またはそこを透過した光を検出する受光器と、この受光器が出力した光検出信号を所定のサンプリングクロックに基づいてサンプリングしてデジタル変位データを得る手段と、このデジタル変位データ中の、前記グリッドパターンにおける等ピッチの特定点を示すデータの順位x(x=1,2,3......)と、それらの各データのサンプリング順位yとの関係を1次式y=ax+bに近似させ、この近似式における係数aの逆数に、有効走査所要時間および前記光反射部材または光遮断部材のピッチから定まる所定の比例定数を乗じて、この有効走査における走査幅を求める演算手段とが設けられてなる走査幅検出装置。
IPC (3件)：
G02B 21/00
, H01J 37/22
, H01J 37/28
