特許

J-GLOBAL ID：200903061216478791

多層膜反射鏡及びそれを用いた装置

発明者： 神高 典明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321029
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134386
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】 多層膜反射鏡の反射波面を制御するために、多層膜表面の一部を除去する方法が考えられている。しかし、多層膜形成用の物質によってはこれによって耐久性が低下する。【解決手段】 除去加工を行った多層膜表面に一様な膜を形成する。形成する膜としては、耐久性に優れ、軟波長領域の光に対して透過性の高いSiが望ましい。

請求項（抜粋）：

モリブデン(Mo)とシリコン(Si)、あるいはこれらを含む合金、混合物を所定の周期長をもって反射面上の少なくとも一部に積層された多層膜反射鏡であって、この反射鏡からの反射波面の形状の制御のために該多層膜の表層部分が所定の量だけ除去加工された多層膜反射鏡において、上記表層部分の加工をおこなった多層膜の表面に、使用波長の電磁波に対して高い透過率を有し、かつ長期間高い透過率を維持する物質の膜を略均一な膜厚で形成したことを特徴とする、多層膜反射鏡。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02

FI (6件)：

G03F 7/20 503 ,  G21K 1/06 B ,  G21K 1/06 C ,  G21K 1/06 D ,  G21K 5/02 X ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (3件)：

2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046GB01