特許

J-GLOBAL ID：200903061219030430

磁気ヘッドの加工制御方法

発明者： 馬場 敏之 ,  鈴木 和生
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-154692
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000863
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】 複数の磁気ヘッドが一列に並んだ状態であるバーを取り付け、磁気ヘッドの素子高さを計測算出して素子高さを加工する磁気ヘッドの加工制御方法において、目標値に対する素子高さのばらつきを小さくして精度良く加工する方法を提供する。【解決手段】 バーの取り付け部に作用させる荷重と変形を表す数次多項中の係数の関係式を求めておき、加工中に計測された複数の素子高さをもとに算出した数次多項式に対し、前記関係式を用いて素子高さが所定範囲内になるようにバーの矯正荷重を求めて加工する。この時、全ての素子の加工開始までは実際の曲がり形状と合致しない数次多項式中の係数を無視して矯正荷重を求め、また全ての素子の加工開始後で数次多項式の係数を全て用いて矯正荷重を求める。

請求項（抜粋）：

複数の磁気ヘッドが一列に並んだ状態であるバーを加工治具に取り付け、磁気ヘッドの素子高さを計測算出して各磁気ヘッドの素子高さを所定寸法になるように加工する磁気ヘッドの加工制御方法において、バーを取り付けた梁材に作用させる荷重に対しその変形を数次多項式化し、荷重と数次多項式中の係数の関係を行列式で求め、これから梁材の曲がり形状を示す係数に対する部分行列の逆行列を求めておき、加工中に計測算出された複数の素子高さをもとに算出した数次多項式のうち、曲がり形状を示す係数を前記逆行列と掛けることで曲がりを矯正する荷重を算出するとともに、傾きを示す係数の和をもとに傾きを矯正する荷重を算出して、その荷重を加工治具に作用させて加工する磁気ヘッドの加工制御方法であって、全ての素子が加工開始されるまでは、実際の曲がり形状と合致しない多項式中の係数は無視して曲がり矯正荷重を求めてその荷重を加工治具に作用させ、全ての素子が加工開始された後に、全ての多項式の係数を考慮した曲がり矯正荷重を求めてその荷重を加工治具に作用させることを特徴とする磁気ヘッドの加工制御方法。

IPC (3件)：

B24B 49/10 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/39

FI (3件)：

B24B 49/10 ,  B24B 37/00 B ,  G11B 5/39