露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-142952
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335205
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】可動体等の運動によって誘発される投影像のぶれによる解像不良等を低減する。【構成】露光装置内の複数ケ所で投影像のぶれの原因となる振動や応力歪み等をリアルタイムに検出し、その結果から像ぶれ変化量を予測して最適なタイミングで露光動作を開始する。

請求項（抜粋）：

マスクに形成されたパターンをステップアンドリピート方式、もしくはステップアンドスキャン方式により感光基板上の所定のショット領域に相対的に位置合わせして露光する装置において、前記マスクに露光用の照明光を照射する照明系と;前記露光のときに、前記マスクと前記感光基板との相対的な位置合わせ状態を劣化させ得る振動、又は構造的な変形を起す複数部分、もしくはその近傍の夫々に設けられ、前記振動、又は変形を検知する検知手段と;該複数の検知手段の各出力信号に基づいて前記位置合わせ状態の劣化の程度を逐次演算する演算手段と;該演算の結果が許容範囲以上になるときは前記感光基板に対する露光を中断し、許容範囲内に復帰したときは露光を再開するように制御する露光制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , G12B 5/00

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 M

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭60-032050
特開平2-226713
特開平2-065222

審査官引用 (3件)

特開昭60-032050
特開平2-226713
特開平2-065222

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