ポジ型感放射線性組成物

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-235290
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147777
出願日： 1999年08月23日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】酸の作用によってアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する重合体、および放射線の照射によって酸を発生する化合物を含むポジ型感放射線性組成物であって、該重合体の放射線による主鎖切断の起こり易さがポリメチルメタクリレートより大きいことを特徴とするポジ型感放射線性組成物。またはアルカリ可溶性重合体、該アルカリ可溶性重合体のアルカリ可溶性を抑制する効果を持ち該抑制効果が酸の作用によって低下または消失する化合物、および放射線の照射によって酸を発生する化合物を含むポジ型感放射線性組成物であって、該アルカリ可溶性重合体の放射線による主鎖切断の起こり易さがポリメチルメタクリレートより大きいことを特徴とするポジ型感放射線性組成物。

請求項（抜粋）：

酸の作用によってアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する重合体、および放射線の照射によって酸を発生する化合物を含むポジ型感放射線性組成物であって、該重合体の放射線による主鎖切断の起こり易さがポリメチルメタクリレートより大きいことを特徴とするポジ型感放射線性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/027 502 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/027 502 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-278059
感光性材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-185046 出願人：株式会社東芝
放射線感光材料及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-276597 出願人：富士通株式会社

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