特許
J-GLOBAL ID：200903061231244632
顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110926
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297004
出願日： 1996年05月01日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 試料の段差やうねり等の影響を受けずに高精度,広範囲の測定が可能な顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 本発明の顕微鏡装置は、光源1,2と、入射光束の偏光方向によって選択的に反射若しくは透過させるPBS4と、入射光束の偏光方向を90°回転させて出射するか又は入射光束の偏光面を保存するかの選択が可能で検光子を兼ねた偏光子5cを含む偏光面ローテータ5と、照明光を試料11に向けて照射する対物レンズ10と、対物レンズ10から出射される試料11からの光束を各波長毎に分離するダイクロイックミラー8と、試料11からの光束の各波長毎の干渉縞を検出する検出器13,14と、を備え、前記試料の段差若しくは位相差を単波長若しくは多波長で測定及び解析する。
請求項（抜粋）：
単色若しくは準単色の少なくとも2つの異なる波長の光束を同一光軸上に出射する光源と、入射光束の偏光方向によって選択的に反射若しくは透過させる偏光ビームスプリッタと、入射光束の偏光方向を90°回転させて出射するか又は入射光束の偏光面を保存するかの選択が可能な偏光面回転手段と、回転された前記偏光面と同等の偏光方位を有する偏光子と、照明光を観察試料に向けて照射する対物光学系と、該対物光学系から出射される前記試料からの光束を各波長毎に分離する波長分離手段と、該対物光学系から出射される前記試料からの光束の各波長毎の干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、を備え、前記試料の段差若しくは位相差を単波長若しくは多波長で測定及び解析できるようにしたことを特徴とする干渉顕微鏡装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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