特許
J-GLOBAL ID:200903061233867653
圧電共振素子の周波数調整方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宮▼崎▲ 主税
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-226072
公開番号(公開出願番号):特開2001-196883
出願日: 2000年07月26日
公開日(公表日): 2001年07月19日
要約:
【要約】【課題】 帯域内リップルの発生を抑圧しつつ、目標とする周波数に圧電共振素子の共振周波数を調整することを可能とする方法を提供する。【解決手段】 圧電板2の両主面に第1,第2の振動電極3,4が形成されており、第1の振動電極3の厚みが第2の振動電極4の厚みよりも厚くされている圧電共振素子1を用意し、該圧電共振素子1の第1,第2の振動電極3,4の厚みが等しくなる方向に、かつ所望の周波数となるように、第1または第2の振動電極を加工する加工工程とを備える、圧電共振素子1の周波数調整方法。
請求項(抜粋):
エネルギー閉じ込め型の圧電共振素子の周波数調整方法であって、圧電板と、圧電板の両主面に部分的に形成されておりかつ圧電板を介して対向されている第1,第2の振動電極とを有し、第1の振動電極の厚みが第2の振動電極よりも厚くされている圧電共振素子を用意する工程と、前記圧電共振素子の第1,第2の振動電極の厚みが等しくなる方向に、かつ所望の周波数となるように第1または第2の振動電極を加工する加工工程とを備えることを特徴とする、圧電共振素子の周波数調整方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H03H 3/04 B
, H01L 41/08 L
Fターム (9件):
5J108AA02
, 5J108CC04
, 5J108DD01
, 5J108EE03
, 5J108FF03
, 5J108FF04
, 5J108KK05
, 5J108NA02
, 5J108NB02
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開平1-232813
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特開平4-196910
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水晶振動子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-321148
出願人:日本電波工業株式会社
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