特許
J-GLOBAL ID：200903061240896537
基板搬送用ボックス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大石 征郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083595
公開番号（公開出願番号）：特開平10-278990
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】 樹脂発泡体製のボックスの利点をそのまま生かしながらも、ロボットによる大型基板の出入を円滑かつ確実に行うことができる信頼性ある基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。【解決手段】 樹脂発泡体でできたボックス(1) の本体(1a)の相対向する1対の内面に、リジッドなフレーム状部材(2), (2)を配置する。これらのフレーム状部材(2), (2)間には、リジッドな横フレーム(3) を懸架する。これらのフレーム状部材(2), (2)のボックス内面側に、基板支持用の縦溝(4a)を有する溝付き内挿側板(4), (4)を配設する。さらに上記フレーム状部材(2), (2)は、ボックス(1) の底部側の4隅に外設した位置決め用固定具(5) と締結一体化する。
請求項（抜粋）：
樹脂発泡体でできたボックス(1) の本体(1a)の相対向する1対の内面に、リジッドなフレーム状部材(2), (2)を配置してあること、これらのフレーム状部材(2), (2)間には、リジッドな横フレーム(3) を懸架してあること、これらのフレーム状部材(2), (2)のボックス内面側に、基板支持用の縦溝(4a)を有する溝付き内挿側板(4), (4)を配設してあること、さらに上記フレーム状部材(2), (2)は、ボックス(1) の底部側の4隅に外設した位置決め用固定具(5) と締結一体化してあること、を特徴とする基板搬送用ボックス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65D 85/38 R
, B65D 85/00 F
