特許
J-GLOBAL ID：200903061243028420
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090200
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260333
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 純水中に薬液を極めて正確に混合することのできる基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 基板処理装置は、基板Wを処理するための処理槽2と、薬液を貯留する薬液タンク3と、薬液混合部4と、薬液混合部4に純水を供給するための純水供給部5と、薬液混合部4に薬液タンク3内の薬液を供給するためのシリンジ機構6とを備える。処理槽2に薬液と純水とを混合して供給する際には、純水供給部5から薬液混合部4に純水を供給する。そして、開閉弁35を開くことによりシリンジ機構6から薬液混合部4に至る薬液の供給経路34を開放すると共に、開閉弁33を閉じることにより薬液タンク3からシリンジ機構6に至る薬液の供給経路32を閉鎖した後、シリンジ機構6のピストン9を下降させ、シリンダ8内の薬液を薬液混合部4に向けて吐出する。
請求項（抜粋）：
基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、薬液を貯留する薬液タンクと、ピストンとシリンダとを有し、前記シリンダ内への薬液の吸入と前記シリンダ内からの薬液の吐出とを前記ピストンの移動により実行するシリンジ機構と、純水の供給源から前記処理槽に純水を供給するための純水供給路と、前記純水供給路中の純水に前記シリンジ機構より吐出された薬液を混合するための混合手段と、前記薬液タンクから前記シリンジ機構に至る薬液の供給経路と、前記シリンジ機構から前記混合手段に至る薬液の供給経路とを選択的に開放する開閉手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/10
H01L 21/304 341 T
, B08B 3/10 Z
