特許

J-GLOBAL ID：200903061246535609

サーマルインクジェットヘッド

発明者： 関谷 卓朗
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100652
公開番号（公開出願番号）：特開平6-305145
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【目的】 機械的に脆い性質を持つ単結晶シリコンウエハにより流路基板を作製する場合において、流路用溝が破損しない強度を確保すること。【構成】 蓄熱層と発熱層とこの発熱層に通電するための電極と保護層とを形成した発熱体基板に対して積層させる流路基板3を、(100)面に切出された単結晶シリコンウエハによるものとし、その(100)面に異方性エッチングにより2つの(111)面よりなる断面V字状に流路用溝6を形成するとともに、その厚さtをこれらの流路用溝6の深さhの10倍以上とした。

請求項（抜粋）：

蓄熱層と発熱層とこの発熱層に通電するための電極と保護層とを形成した発熱体基板と、(100)面に切出された単結晶シリコンウエハの前記(100)面に異方性エッチングにより2つの(111)面よりなる断面V字状に形成した流路用溝を有してこの溝面を発熱面に相対させて前記発熱体基板上に積層させたこれらの流路用溝の深さの10倍以上の厚さの流路基板とよりなることを特徴とするサーマルインクジェットヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-230954
  
• 特開平4-235051
  
• 特開平2-067140