フォーカシング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-121838
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304703
出願日： 1996年05月16日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料面の観察点に対する合焦制御を効率よく行うことができるフォーカシング装置を提供する。【解決手段】ステージ11上の試料12面での任意の3点121、122、123でのX、Y座標情報およびこれら各点121、122、123での合焦位置に相当するZ座標情報から試料12面の仮想平面を数式化した平面式を演算部19により求め、その後、試料12面の観察点に対するX、Y座標情報より、平面式に基づいて観察点での試料12面の傾き成分を補正したZ座標情報を求め、このZ座標情報に基づいて試料12面の観察点に対する対物レンズ14による合焦を制御する。

請求項（抜粋）：

試料を載置するステージと、前記試料面またはステージ面での複数の任意位置に対するX、Y座標情報およびこれら複数の任意位置での合焦位置に相当するZ座標情報から前記試料面またはステージ面の仮想平面を数式化した平面式を求める第1の演算手段と、前記試料面の任意の観察点に対するX、Y座標情報より前記平面式に基づいて前記観察点での試料面またはステージ面の傾き成分を補正したZ座標情報を生成する第2の演算手段と、この第2の演算手段で生成されたZ座標情報に基づいて前記試料面の観察点に対する合焦を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするフォーカシング装置。

IPC (4件)：

G02B 21/26 , G01B 9/04 , G02B 7/28 , G03B 13/36

FI (5件)：

G02B 21/26 , G01B 9/04 , G02B 7/11 J , G02B 7/11 N , G03B 3/00 A

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