特許
J-GLOBAL ID:200903061252158884
焦点調節装置および顕微鏡装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
古谷 史旺
, 森 俊秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-324841
公開番号(公開出願番号):特開2009-145754
出願日: 2007年12月17日
公開日(公表日): 2009年07月02日
要約:
【課題】 標本のパターン形状にかかわらずに高い合焦精度を確保できる焦点検出装置を提供する。【解決手段】 焦点調節装置は、標本に対してパターン光を投影する投影部と、結像光学系と、焦点検出部と、駆動部と、演算部と、制御部とを備える。焦点検出部は、標本からの反射光から結像光学系によって形成される像のコントラスト量に基づいて、対物レンズの焦点位置と標本との光軸方向のズレを示すデフォーカス信号を生成する。駆動部は、デフォーカス信号に基づいて対物レンズと標本との間隔を調整する。演算部は、対物レンズの移動量に対するデフォーカス信号の出力の変化の割合を求める。制御部は、対物レンズの焦点深度と変化の割合とを用いて、標本の観察時に合焦範囲となるデフォーカス信号の出力値を決定する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
標本に対してパターン光を投影する投影部と、
前記標本からの反射光を基に前記パターン光による像を形成する結像光学系と、
前記結像光学系によって異なる位置に形成される像のコントラスト量に基づいて、前記結像光学系による合焦位置と前記標本との光軸方向のズレを示すデフォーカス信号を生成する焦点検出部と、
前記デフォーカス信号に基づいて前記対物レンズと前記標本との間隔を調整する駆動部と、
前記結像光学系を構成する対物レンズの移動量に対する前記デフォーカス信号の出力の変化量を求める演算部と、
前記結像光学系の焦点深度と前記変化の割合とに基づいて、前記標本の観察時に合焦範囲となる前記デフォーカス信号の出力値の範囲を決定する制御部と、
を備えることを特徴とする焦点調節装置。
IPC (4件):
G02B 7/28
, G02B 7/36
, G02B 21/00
, H04N 5/232
FI (5件):
G02B7/11 N
, G02B7/11 J
, G02B7/11 D
, G02B21/00
, H04N5/232 J
Fターム (19件):
2H051AA11
, 2H051BA54
, 2H051BA72
, 2H051CB04
, 2H051CB06
, 2H051CB29
, 2H052AD09
, 5C122DA30
, 5C122EA37
, 5C122FB03
, 5C122FB13
, 5C122FB15
, 5C122FC03
, 5C122FD04
, 5C122FD13
, 5C122GG17
, 5C122HA88
, 5C122HB01
, 5C122HB06
引用特許:
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