特許
J-GLOBAL ID：200903061260539439
走査型トンネル顕微鏡の電解研磨装置および電解研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046763
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260804
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【構成】1は研磨される探針材、2は電極、3は電解液、4は電源、5は探針材支持体、6は電解液槽、7は探針材支持体上下動機構、8は上下動機構を制御する制御装置である。【効果】電解研磨時、複数本の探針材に均一な電界を印加するために電極形状及びその配置を最適化し、かつ探針材を電解液中で上下動させる機構を設けることにより先端の鋭利な探針を複数本同時に製作可能である。
請求項（抜粋）：
電解液を収納する電解液槽と、前記電解液と、前記電解液中に設けられた複数個の筒状の電極と、前記筒状の電極内に対向させ前記電解液面に対し弾性体によって垂直に探針材を保持する支持体と、前記探針材を前記支持体を上下動させる動力機構と、前記探針材と電極間に電圧を印加する電源を備えたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡用探針の電解研磨装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, C25F 3/16
, G01B 7/34
