特許
J-GLOBAL ID：200903061264295089
薄膜ゲージ圧力計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-272073
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136378
出願日： 1994年11月07日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 薄膜ゲージ圧力計におけるゼロ点ドリフト特性、クリープ特性、ゼロ点温度特性等の諸特性を向上させ、圧力の検出精度を向上させる。【構成】 ダイヤフラム1の表面に歪ゲージブリッジ回路3を形成し、この歪ゲージブリッジ回路3における歪ゲージパターン5a〜5dとゼロバランス調整パターン6a,6bとゼロ点温度補正パターン8a,8bとリード配線パターン9a〜9fとリード端子10a〜10dとをそれぞれ略対称形に形成し、ダイヤフラム1表面の剛性を略対称にすると共にダイヤフラム1表面の熱伝導性を略対称とする。
請求項（抜粋）：
中央部に位置する歪部とこの歪部の周囲に位置する固定部とを有するダイヤフラムを設け、このダイヤフラムの表面に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上に金属材料で歪ゲージパターンとゼロバランス調整パターンとゼロ点温度補正パターンとこれらの各パターンを接続するリード配線パターン及びリード端子を有する歪ゲージブリッジ回路を形成し、前記絶縁膜上に前記歪ゲージブリッジ回路を覆う保護膜を形成した薄膜ゲージ圧力計において、前記歪ゲージパターンを前記歪部上に位置させると共に前記ゼロバランス調整パターンと前記ゼロ点温度補正パターンと前記リード端子とを前記固定部上に位置させ、前記歪ゲージパターンと前記ゼロバランス調整パターンと前記ゼロ点温度補正パターンと前記リード配線パターンと前記リード端子とをそれぞれ略対称形に形成したことを特徴とする薄膜ゲージ圧力計。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101
, G01B 7/16
, G01L 19/04
