特許

J-GLOBAL ID：200903061264790640

ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶

発明者： 石蔵 賢二 ,  武田 憲夫
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-009973
公開番号（公開出願番号）：特開平9-197359
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【目的】 ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶を細かく切断して光アイソレータ用ファラデー回転子を製造する際に生じるビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶表面のシミを少なくすることで製造歩留まりを向上させる。【解決手段】 反射防止膜の大気と接する層を五酸化タンタルとする。【効果】 ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶を細かく切断して光アイソレータ用ファラデー回転子を製造する際に生じるビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶表面のシミがほとんど見られなくなり、歩留まりが向上した。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの薄膜からなる反射防止膜であって、その大気と接する層が五酸化タンタルで構成されていることを特徴とする、ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶。

IPC (3件)：

G02F 1/09 501 ,  C30B 29/28 ,  G02B 1/11

FI (3件)：

G02F 1/09 501 ,  C30B 29/28 ,  G02B 1/10 A