特許

J-GLOBAL ID：200903061266643416

反射鏡

発明者： 岡 徹 雄 ,  天 野 隆 ,  三 多 淳 一 ,  石 井 正 巳
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-286560
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127003
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【構成】 基板1上に成膜された第一金属膜2と、第一金属膜2の表面上に成膜された干渉膜3と、干渉膜3の表面上に成膜された第二金属膜4と、更に第二金属膜4の表面上に成膜された膜厚が150Å以上のクロム保護膜5とを備えたことを特徴とする反射鏡。【効果】 第二金属膜の表面にCr膜を形成しているため、第一金属膜及び第二金属膜及び干渉膜の酸化や劣化を防ぐことができ、耐熱性にも優れている。また、高温条件下で長時間放置しても反射鏡の光反射率はほとんど変化しないので、本発明による反射鏡は防眩効果を維持できる。更に、本発明は、同チャンバー内で全ての薄膜を成膜できるため、短時間,低コストで処理することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に成膜された第一金属膜と、該第一金属膜の表面上に成膜された干渉膜と、該干渉膜の表面上に成膜された第二金属膜と、更に該第二金属膜の表面上に成膜された膜厚が150Å以上のクロム保護膜とを備えたことを特徴とする反射鏡。