特許
J-GLOBAL ID：200903061268024144
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-071322
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271364
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】出力の直線性が充分確保され、測定範囲に比して耐圧性能が充分大きい圧力センサの提供。【構成】厚肉の基板20と、薄肉のダイアフラム10と、これらの基板20およびダイアフラム10の各々に設けた電極11,21,22とを有し、ダイアフラム10に加わる圧力を電極11,21,22間の静電容量の変化により検出する圧力センサに、ダイアフラム10の変位を制限するリング状のストッパ27, 28を設ける。ダイアフラム10に生じる変位はストッパ27, 28により制限されるので、過大な圧力が加わってもダイアフラム10の内部には大きな応力が発生せず、ダイアフラム10の機能が損なわれず、電極間の距離を大きくでき、出力の非直線性が改善される。
請求項（抜粋）：
厚肉の基板と、所定の間隔を置いて前記基板と対向して配置された薄肉のダイアフラムと、これらの基板およびダイアフラムの互いに対向する面にそれぞれ設けられた電極とを有し、前記ダイアフラムに加わる圧力を前記電極間の静電容量の変化により検出する圧力センサであって、前記ダイアフラムの変位を制限するリング状のストッパを複数備え、これらのストッパの高さがそれぞれ異なることを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/12
, G01L 19/06 102
G01L 9/12
, G01L 19/06 102
