特許
J-GLOBAL ID：200903061268489767
処理液供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158442
公開番号（公開出願番号）：特開平11-005056
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 撮影手段を用いて処理液の供給を検知することによって各基板に均一な処理を施すことができるとともに、撮影手段の位置ずれを報知して不適切な処理が行われたことを知ることができる。【解決手段】 CCDカメラ30で撮影した領域の中からずれ検出領域と供給検出領域を設定し、2本の処理液供給ノズル5A,5Bごとに関連付けて格納する。基板Wにフォトレジスト液を供給する際には、使用する処理液供給ノズル5に応じたずれ検出領域に基づいてCCDカメラ30の位置ずれを検出する。供給開始命令の実行後は、所定の周期で撮影した範囲のうち供給検出領域の濃淡変化に基づきそれ以後の命令を実行する。
請求項（抜粋）：
基板に対して処理液を供給して処理を施す処理液供給装置であって、基板を回転可能に支持する回転支持手段と、前記回転支持手段に支持された基板の上方にあたる供給位置と、前記回転支持手段に支持された基板の側方に離れた待機位置とにわたって移動可能に構成され、前記供給位置で処理液を供給する複数本の処理液供給手段と、前記複数本の処理液供給手段の各々から処理液が供給されたことを検出可能な範囲であって、かつ、各々の先端部を含む範囲を撮影する撮影手段と、前記複数本の処理液供給手段の各々が供給位置に移動した後、各処理液供給手段から処理液が供給されたことを撮影可能な位置に前記撮影手段が取り付けられている状態で、基板の処理に先立って各処理液供給手段ごとに前記撮影手段が撮影した範囲の画像を表示する表示手段と、前記表示手段に表示された各処理液供給手段ごとの画像のうち、各処理液供給手段の先端部を含む領域をずれ検出領域として予め設定するとともに、処理液が供給されたことを判断するための領域を供給検出領域として各処理液供給手段ごとに予め設定する設定手段と、前記設定手段により設定されたずれ検出領域を、各処理液供給手段ごとに関連付けて複数の基準位置画像情報として予め記憶する基準画像記憶手段と、前記設定手段により設定された供給検出領域を予め記憶する供給検出領域記憶手段と、前記複数本の処理液供給手段のうち、所望のものを選択するための選択手段と、基板の処理時に前記撮影手段によって撮影された範囲のうち、前記選択手段によって選択された処理液供給手段に設定されているずれ検出領域に対応する領域を処理時画像情報とし、この処理時画像情報と、前記基準画像記憶手段に記憶されている複数の基準位置画像情報のうち選択された処理液供給手段に対応する基準位置画像情報とを比較して、前記撮影手段の取り付け位置がずれていることを判別する判別手段と、前記判別手段により前記撮影手段の取り付け位置がずれていると判別された場合に、そのことを報知する報知手段と、供給開始命令を含む複数個の命令からなり、予め記憶されている一連の処理を規定する処理プログラムに基づき供給開始命令を実行することによって、選択された処理液供給手段から処理液の供給を開始するとともに、前記撮影手段により所定の周期で撮影された範囲のうち、この処理液供給手段に対応する供給検出領域の画像情報の濃淡変化に基づき前記供給開始命令以後の命令を実行する制御手段と、を備えていることを特徴とする処理液供給装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16
, H01L 21/027
B05C 11/08
, G03F 7/16
, H01L 21/30 564 C
