特許
J-GLOBAL ID:200903061273382040
脱気・溶解処理用モジュール
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鈴江 孝一
, 鈴江 正二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-326557
公開番号(公開出願番号):特開2004-160290
出願日: 2002年11月11日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】耐圧強度、耐液圧性及びガス透過性に優れたチューブを使用して全体の小型化、低コスト化を図りながら、脱気・溶解処理効率を著しく向上でき、しかも、液漏れ及び被処理液体の滞流ないし滞留や淀みがなく所定の脱気・溶解処理を確実かつ高性能に行なえるようにする。【解決手段】集束チューブ8群の内部流路8Aに被処理液体Aを流通させながら、チューブ8群の外側を覆う筒状容器3内の脱気・溶解室3Aを減圧もしくは溶解性ガスで加圧することにより、被処理液体A中の溶存ガスもしくは溶解性ガスをチューブ周壁8Bの厚み方向に透過させて脱気処理または溶解処理を行なう脱気・溶解処理用モジュール1のチューブとして、周壁8Bに独立気泡が均一に分散され、かつ、周壁8Bの内外面が平滑面となるように発泡成形された発泡フッ素樹脂製チューブ8を使用する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
1本のチューブもしくは複数本のチューブ群の外側を筒状容器で覆い、チューブもしくはチューブの内部流路とその外部で筒状容器内の流路とのうちのいずれか一方に被処理液体を流通させるとともに、他方を減圧もしくは溶解性ガスで加圧することにより、被処理液体中に溶存するガスもしくは溶解性ガスをチューブ周壁の厚み方向に透過させて溶存ガスを液体側流路から除去させるもしくは溶解性ガスを液体側流路に供給して被処理液体中に溶解させるように構成されている脱気・溶解処理用モジュールであって、
上記チューブもしくはチューブ群は、そのチューブ周壁に独立気泡が分散され、かつ、チューブ周壁の内外面のうち少なくとも内面が平滑面になるように発泡フッ素樹脂の発泡成形により形成されていることを特徴とする脱気・溶解処理用モジュール。
IPC (7件):
B01D63/06
, B01D19/00
, B01D61/00
, B01D63/00
, B01D71/32
, C23F1/00
, H01L21/306
FI (7件):
B01D63/06
, B01D19/00 H
, B01D61/00
, B01D63/00 500
, B01D71/32
, C23F1/00 104
, H01L21/306 J
Fターム (24件):
4D006GA32
, 4D006GA35
, 4D006HA28
, 4D006HA32
, 4D006JA02A
, 4D006MA02
, 4D006MA31
, 4D006MA40
, 4D006MB03
, 4D006MC28
, 4D006MC30
, 4D006PB20
, 4D006PB70
, 4D006PC01
, 4D011AA17
, 4K057WA01
, 4K057WK01
, 4K057WN01
, 5F043AA01
, 5F043AA40
, 5F043EE23
, 5F043EE30
, 5F043EE33
, 5F043EE40
引用特許:
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