特許

J-GLOBAL ID：200903061282337783

単色放射温度計の較正方法

発明者： 古川 長樹 ,  小野 洋子
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-097465
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281064
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】本発明は、作業性を改善するとともに、2色放射温度計の温度ズレや指示温度のバラツキによる誤差を回避することを課題とする。【解決手段】単色放射温度計17でウェハ12からの光の強さを測定する工程と、2色放射温度計18でウェハ12からの光の強さを測定する工程と、2色放射温度計18で黒体炉19の温度を調整する工程と、熱電対20で黒体炉19の温度を測定する工程と、熱電対20の値になるように単色放射温度計17を較正する工程とを具備することを特徴とする単色放射温度計の較正方法。

請求項（抜粋）：

反応容器と、この反応容器内に配置され、ウェハを支持するホルダーと、前記ホルダーの内部に配置され、前記ウェハを加熱するヒータと、前記ウェハからの光の強さを測定する単色放射温度計と、前記ウェハからの光の強さを測定するとともに黒体炉の温度を調整する2色放射温度計とを具備した装置において単色放射温度計を較正する方法であり、単色放射温度計でウェハからの光の強さを測定する工程と、2色放射温度計でウェハからの光の強さを測定する工程と、2色放射温度計で黒体炉の温度を調整する工程と、熱電対で黒体炉の温度を測定する工程と、熱電対の値になるように単色放射温度計を較正する工程とを具備することを特徴とする単色放射温度計の較正方法。

IPC (3件)：

G01J 5/10 ,  G01J 5/02 ,  F27D 21/00

FI (4件)：

G01J 5/10 B ,  G01J 5/02 K ,  G01J 5/02 L ,  F27D 21/00 G

Fターム (11件)：

2G066AB06 ,  2G066AC01 ,  2G066AC02 ,  2G066AC11 ,  2G066BA08 ,  2G066CB01 ,  4K056AA00 ,  4K056BB06 ,  4K056CA18 ,  4K056FA12 ,  4K056FA22