特許

J-GLOBAL ID：200903061283351526

クリーンルーム用イオナイザー

発明者： 通山 雅貴 ,  鈴木 国夫
出願人/特許権者： 株式会社テクノ菱和
代理人 (1件)： 木内 光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163510
公開番号（公開出願番号）：特開平6-325894
出願日： 1993年07月01日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 イオナイザー電極の先端への付着物を減少させることができ、クリーンルームの汚染防止が可能なクリーンルーム用イオナイザーを提供する。【構成】 クリーンルームの天井に本体ケース1を設ける。本体ケース1内に直流パルス電源2、左右一対の正負のイオナイザー電極3を設ける。イオナイザー電極3の上端を直流パルス電源2に接続する。イオナイザー電極3の下端周囲に、絶縁材4を巻き付ける。絶縁材4の周囲に、加熱用ニクロム線5を巻き付ける。加熱用ニクロム線5の周囲に、断熱材6を巻き付ける。加熱用ニクロム線5の両端を、断熱材6の上下から引き出し、加熱用高耐圧絶縁トランス7を介して交流100V電源に接続する。

請求項（抜粋）：

電源および前記電源に接続されたイオナイザー電極を有し、前記イオナイザー電極から放電させることによりイオンを発生させ、帯電した物体の電荷を中和させるクリーンルーム用イオナイザーにおいて、前記イオナイザー電極端部に、前記イオナイザー電極を加熱するための加熱装置を備えたことを特徴とするクリーンルーム用イオナイザー。

IPC (4件)：

H05F 3/04 ,  F24F 7/06 ,  H01T 19/04 ,  H01T 23/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-194527
  
• 特開昭55-143788
  
• 特開昭62-117288