特許
J-GLOBAL ID：200903061290324615
昇温脱離ガス分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064196
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275697
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 測定結果に一つの基準を設定し、真空中に脱離するガスの種類ごとの測定結果の絶対値を表示できるようにする。【構成】 真空チャンバ内の試料ステージ上に載置した試料に赤外線を照射して加熱し、質量分析計により脱離するガスを検出して質量を分析する昇温脱離ガス分析装置において、質量分析計の出力電気信号を取込む演算回路を備え、試料の加熱開始からその試料からの脱離ガスがきわめて小さくなる温度までの温度(または経過時間)の関数として、検出物質の質量毎にその信号強度を継続的に記録し、その質量毎にその信号強度の温度(または時間)について積分値を演算する。この積分値を標準サンプルについての値と比較することにより、分子数の絶対値を求めることができる。
請求項（抜粋）：
真空チャンバと、この真空チャンバを真空に維持する真空ポンプと、この真空チャンバ内に配置された試料ステージと、この試料ステージ上に置かれた試料を加熱する加熱器と、前記真空チャンバ内に配置され前記試料から脱離するガスを検出する質量分析計とを備えた昇温脱離ガス分析装置において、前記質量分析計の出力電気信号を取込む演算回路を備え、この演算回路は、前記試料の加熱開始からその試料からの脱離ガスがきわめて小さくなる温度までの温度(または経過時間)の関数として、検出物質の質量毎にその信号強度を継続的に記録する手段と、その質量毎にその信号強度の温度(または時間)についての積分値を演算するとともに、その積分値を基準値に対する比により前記試料の表面に付着した前記検出物質の分子数を表示する手段を備えたことを特徴とする昇温脱離ガス分析装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
