特許

J-GLOBAL ID：200903061299763247

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 土屋 勝則 ,  藤井 正 ,  服部 健治 ,  吉田 哲也
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153416
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341527
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 アルカリ水溶液で現像でき、かつ、諸性能に優れた高信頼性ソルダマスクを形成しうる、熱安定性の高い感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 (a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)一般式(I)【化1】〔式中、R2及びR3は各々独立して水素原子又はメチル基であり、繰り返し単位の個数を示すl及びmはl+mが2〜30となるように選ばれる正の整数である〕で示される光重合性化合物並びに(e)グアニジン系化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)少なくとも2個のエポキシ基を有する化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)一般式(I)【化1】〔式中、R2及びR3は各々独立して水素原子又はメチル基であり、繰り返し単位の個数を示すl及びmはl+mが2〜30となるように選ばれる正の整数である〕で示される光重合性化合物並びに(e)グアニジン系化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 503 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/032 501 ,  G03F 7/085 ,  H05K 3/28