特許
J-GLOBAL ID:200903061303445972
光マイクロフォン素子及び光マイクロフォン装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩原 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-345438
公開番号(公開出願番号):特開2001-169394
出願日: 1999年12月03日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】 受発光素子の位置合わせ精度が高くかつ歩留まりのよい小型化された光マイクロフォン素子と光マイクロフォン装置を提供する。【解決手段】 同一基板上に発光素子と受光素子とを配置し、前記基板に対向する位置に設置された振動板に前記発光素子から光を放射し、前記振動板からの反射光を前記受光素子で受光して前記振動板の変位を検出する光マイクロフォン素子において、前記発光素子として発光強度分布が同心円状にほぼ均一な垂直表面発光型発光素子を前記基板の中心部に配置し、前記発光素子を取囲込むように同心円状に前記受光素子を配置する。
請求項(抜粋):
同一基板上に発光素子と受光素子とを配置し、前記基板に対向する位置に設置された振動板に前記発光素子から光を放射し、前記振動板からの反射光を前記受光素子で受光して前記振動板の変位を検出する光マイクロフォン素子において、前記発光素子として発光強度分布が同心円状にほぼ均一な垂直表面発光型発光素子を前記基板の中心部に配置し、前記発光素子を取囲込むように同心円状に前記受光素子を配置したことを特徴とする光マイクロフォン素子。
Fターム (1件):
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