特許
J-GLOBAL ID：200903061304080765
干渉測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348014
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190738
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 被検面の形状が非球面の場合でも、被検面の形状および干渉計の測定光学系による干渉縞の歪みを補正することができ、面形状測定の測定精度の向上を図る。【構成】 1は非球面形状をもつ被検面14を測定する干渉計で、被検面14の中心を原点とした被検面14上の座標に対して、極座標上で多数の点aおよび線となるように予め座標位置の知られたマーキングがされたマスターレンズ2と、参照面12と、光源5と、照明用光学系6と、照射された光の反射光を受像面4に投影するための測定光学系3と、干渉縞を画像として取り込む測定用カメラ10と、測定用カメラ10の受像面4と、参照面12を微小量移動させるためのピエゾ13と、干渉縞のデータを解析するためのコンピュータ11とよりなる。
請求項（抜粋）：
光源から射出された光束を2分し、一方の分割光束を参照面に、他方の分割光束を被検面にそれぞれ入射させ、各々の反射光を干渉させて得られた干渉縞から被検面の形状を測定する干渉計を用い、マーキングされた被検面を前記干渉計の受像面に投影し、その投影されたマーキングポイント像と干渉計の光学系の投影倍率により線型変換された受像面上の理想結像点との写像関係から、前記干渉縞の歪みを補正することを特徴とする干渉測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01M 11/00
