特許
J-GLOBAL ID：200903061309651841
インクジエツトプリンタヘツド用圧電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-213690
公開番号（公開出願番号）：特開平5-050606
出願日： 1991年08月26日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】【目的】 電圧印加によって、せん断変形する複数個の圧電材料の壁と該圧電材料の壁の間に形成されたインク流路及び圧力チャンバーとして動作する複数個の高集積化されたインク溝を有する形状のインクジェットプリンタヘッド用圧電素子を安価に製造する方法を提供すること。【構成】 押し出し成形法によって複数個の貫通孔を有する圧電材料の成形体を製造する工程と、該圧電材料の成形体を焼結する工程と、該焼結体を分極処理する工程と、該分極された焼結体の複数の貫通孔の内面に電極形成する工程と、該電極形成された焼結体の複数個の貫通孔を通る切断面にて切断する工程からなるインクジェットプリンタヘッド用圧電素子の製造方法である。
請求項（抜粋）：
複数のインク溝と圧電材料の壁とを有し、圧電材料に電界を印加するための駆動電極が前記インク溝の側面に配置されたインクジェットプリンタヘッド用圧電素子の製造方法において、冷間または熱間押し出し成形法によって複数個の貫通孔を有する圧電材料の成形体を製造する工程と、その成形体を分極処理する工程と、その分極された成形体の複数の貫通孔の内面に電極を配置する工程と、その電極が形成された成形体を前記複数個の貫通孔を通る切断面にて切断する工程とからなることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド用圧電素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, H01L 41/22 A
