特許

J-GLOBAL ID：200903061315097759

共焦点レーザ顕微鏡

発明者： 立川 義彦
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053449
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257064
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 被測定物の深さ方向についての入射光ビームの位置決めが高速に行える共焦点レーザ顕微鏡を提供する。【構成】 レーザ光源と、このレーザ光源の出力光の光路を光軸に対して直交する2次元方向に変化させる光路制御素子と、この光路制御素子の出力光を被測定物に導く測定光学系と、前記被測定物からの被測定光を検出する光検出器を備えた共焦点レーザ顕微鏡において、前記測定光学系に、ビーム分岐要素と、反射光学要素と、この反射光学要素を光軸方向に沿って変位させるアクチュエータを設け、反射光学要素の位置に応じてレーザ光源と被測定物との光路長を変化させるように構成した。

請求項（抜粋）：

レーザ光源と、このレーザ光源の出力光の光路を光軸に対して直交する2次元方向に変化させる光路制御素子と、この光路制御素子の出力光を被測定物に導く測定光学系と、前記被測定物からの被測定光を検出する光検出器を備えた共焦点レーザ顕微鏡において、前記測定光学系に、ビーム分岐要素と、反射光学要素と、この反射光学要素を光軸方向に沿って変位させるアクチュエータを設け、反射光学要素の位置に応じてレーザ光源と被測定物との光路長を変化させることを特徴とする共焦点レーザ顕微鏡。