特許

J-GLOBAL ID：200903061319447860

フォトレジスト組成物を調整する方法

発明者： ロジャー・エフ・シンタ ,  ユーデイ・クマール ,  ジョージ・ダブリュー・オルスラ ,  ジェイムズ・ファーヘイ ,  ウィリアム・アール・ブランズボルド ,  ウー-ソン・ファン ,  アーマッド・ディー・カトナーニ ,  ロナルド・ダブリュー・ナンズ ,  マームード・エム・コージャスタ
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-347750
公開番号（公開出願番号）：特開平11-249308
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 本発明は種々の成分を単離すること無く、フォトレジストを調製する方法を提供する。【解決手段】 本発明は、種々の成分を単離すること無く、フォトレジストを調製する方法、例えば、「ワン-ポット」製法に関する。本発明の好ましいワンポット製法は、選択されたフォトレジスト溶媒中でフォトレジスト樹脂バインダーを調製する工程、当該溶媒中から樹脂バインダーを分離することなく、感光性成分及び他の成分を当該樹脂バインダー混合物中に添加して、樹脂バインダーが調製された溶媒中でフォトレジスト組成物を調製する方法を包含している。また、本発明は、フォトレジスト樹脂バインダー、特に、酸不安定基又は不活性ブロッキング基などの基と共有結合することができるフェノール性-OH基を含有するフェノール性ポリマー、の新規な製造方法に関する。

請求項（抜粋）：

(a)選択されたフォトレジスト溶媒中でフォトレジスト樹脂バインダーを調製する工程、(b)当該溶媒中から樹脂バインダーを分離することなく、光活性成分を当該樹脂バインダー混合物中に添加して溶媒中でフォトレジスト組成物を調製する工程、からなるフォトレジスト組成物の調製方法。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 8/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/06

FI (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 8/00 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/06