特許

J-GLOBAL ID：200903061321482346

磁気記録媒体の製造方法

発明者： 鬼頭 諒 ,  藤巻 成彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191430
公開番号（公開出願番号）：特開平9-044844
出願日： 1995年07月27日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【構成】ハロゲン化炭素と窒素ないしハロゲン化窒素化合物からなる混合ガスを用いることによって耐久性の優れた窒化炭素の保護膜3を安全に形成する磁気記録媒体の製造方法および同製造方法で製造した磁気記録媒体。【効果】ハロゲン化炭素と窒素ないしハロゲン化窒素化合物からなる混合ガスを用いることによってシアン化水素を発生するすることなく耐久性の優れた窒化炭素保護膜を形成することができる。

請求項（抜粋）：

ハロゲン化炭素と窒素ないしハロゲン化窒素又はその混合物からなる混合ガスを用いて窒化炭素保護膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (3件)：

G11B 5/84 ,  C23C 16/34 ,  G11B 5/72

FI (3件)：

G11B 5/84 B ,  C23C 16/34 ,  G11B 5/72