特許

J-GLOBAL ID：200903061322029726

異物検査方法及び装置

発明者： 長崎 達夫 ,  野村 剛 ,  中嶋 伸也 ,  寸土 勧 ,  川野 肇
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-139451
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324454
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 ポイントセンサを使用するとともに実現可能なスポット径の照明を行いながら高いS/Nの検出ができる異物検査方法及び装置を提供する。【解決手段】 被検査面6に照明光を照射し、反射光をフォトマル10などのポイントセンサに受光させて電気信号に変換し、その信号を所定のサンプリング時間でサンプリングして得たデータをもとに異物8の判定を行う異物検査方法において、フォトマル10からの信号をA/D変換部12でサンプリングし、差分演算部13で各々のデータとその前又は後のデータとの差分を計算し、信号処理部14で計算された差分値をもとに異物8の判定を行うようにした。

請求項（抜粋）：

被検査面に照明光を照射し、反射光をポイントセンサに受光させて電気信号に変換し、その信号を所定のサンプリング時間でサンプリングして得たデータをもとに異物の判定を行う異物検査方法において、サンプリングされた各々のデータとその前又は後のデータとの差分を計算し、計算された差分値をもとに異物の判定を行うことを特徴とする異物検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (22件)：

2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051BC06 ,  2G051CA02 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA25 ,  4M106BA05 ,  4M106CA41 ,  4M106DB08 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20