複合多層被覆工具

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河内潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302268
公開番号（公開出願番号）：特開平9-117806
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【目的】高速度工具を母材としその表面にTiCN系高硬度硬質複合被膜の多層膜を形成することにより母材との密着性を高め、膜応力を緩和して工具切削中の欠損を引き起こさないような高い靭性を有しかつ耐摩耗性に優れる被膜を提供。【構成】高速度工具鋼を母材とし、膜の多層構成が10層以上の構造からなり、被覆膜の全体の膜厚が2.0μm〜6.0μmであり、膜厚が0.2μm〜0.9μmのTiN又はTiCNの均一組織を前記母材に接する最下層として第1層に成膜し、さらにその上にいずれも膜厚が0.1μm〜0.5μmの第2層としてTiCN及びその上に第3層としてTiN又はTiCNを積層し、以後いずれも膜厚が0.1μm〜0.5μmの前記第2層及び前記第3層の成分の膜を順次少なくとも3回以上繰り返して積層し、そして最上層に膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiCNを積層して、全体の層数が10層〜20層とする。

請求項（抜粋）：

高速度工具鋼を母材とする工具において次の(a)から(c)の条件を満足させたことを特徴とする複合多層被覆工具;(a)被覆膜の成分がTi、C、Nよりなる複合膜であり、(b)膜の多層構成が10層以上の構造からなり、被覆膜の全体の膜厚が2.0μm〜6.0μmであり、その被覆膜の構成が原子比炭素比率=C/(C+N)=tとして膜厚が0.2μm〜0.9μmのTiN又はTiCN(0≦t≦0.2)の均一組織を前記母材に接する最下層として第1層に成膜し、さらにその上にいずれも膜厚が0.1μm〜0.5μmの第2層としてTiCN(0.3≦t≦0.7)及びその上に第3層としてTiN又はTiCN(0≦t≦0.2)を積層し、以後いずれも膜厚が0.1μm〜0.5μmの前記第2層及び前記第3層の成分の膜を順次少なくとも3回以上繰り返して積層し、そして最上層に膜厚が0.2μm〜1.0μmのTiCN(0.3≦t≦0.7)を積層して、全体の層数が10層〜20層であることを特徴とし、(c)その被覆工具もしくはそれと同時処理した同母材種のテストピ-スが工具部材の機能要部と同等の被覆が施されている部分の特性が、(1)母材は60HRC以上の硬度を有し、50gのマイクロビッカ-ス硬度計で1900以上、4000HV以下、Ry5μm以下の面粗さであり、(2)前記被覆膜に通常のCスケ-ルロックウェル硬度計を押圧した場合に生じる圧痕を100倍の倍率で観察した結果、圧痕の外側周囲1mm以上の範囲で膜の剥離が認められない。

IPC (3件)：

B23B 27/14 , B23P 15/28 , C23C 14/06

FI (4件)：

B23B 27/14 A , B23P 15/28 A , C23C 14/06 P , C23C 14/06 L

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-021761
特開昭62-142768

審査官引用 (4件)

特開平4-021761
特開平4-021761
特開昭62-142768

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