特許
J-GLOBAL ID:200903061332514460
バッキングプレート部材へのターゲットの接着
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-516025
公開番号(公開出願番号):特表平10-509479
出願日: 1995年09月20日
公開日(公表日): 1998年09月14日
要約:
【要約】スパッタターゲット(12)をバッキングプレート部材(14)に対して半田接着するための方法、および、半田接着されたターゲット/バッキングプレートアセンブリが開示されている。この場合、半田ペースト(20)が、ターゲット(12)およびバッキングプレート(14)の表面どうしを連結するために使用されている。ペースト(20)は、融点が約70°Cあるいはそれ以下である低融点金属成分と、周期表のIB、VIII、およびIVB族の中から選択された少なくとも1つの金属成分および周期表のIA、III、およびVA族の中から選択された少なくとも1つの金属成分を備える微細に分割された固溶体成分と、を備えている。半田ペースト(20)は、接着するべき表面に対して適用され、固化される。約500度の程度の高温に間違いなく耐え得るような、耐久性のある結合が形成される。
請求項(抜粋):
スパッタターゲットをバッキングプレート部材に対して半田接着するための方法であって、 (a)融点が約70°Cあるいはそれ以下である低融点金属成分と、i)周期表のIB、VIII、およびIVB族を構成する族の中から選択された少なくとも1の金属成分およびii)周期表のIVA、IIIA、およびVA族を構成する族の中から選択された少なくとも1つの金属成分を備えるとともにこれら成分i)およびii)を機械的に合金化することによって形成された固溶体成分と、を備える半田ペーストからなる薄いコーティングを、前記ターゲットと前記バッキングプレート部材との隣接する表面どうしの間に形成された界面に対して適用し、 (b)前記半田ペーストを固化させる、ことを特徴とする方法。
IPC (4件):
C23C 14/34
, B23K 1/00 330
, B23K 1/19
, B23K 35/22 310
FI (5件):
C23C 14/34 C
, B23K 1/00 330 Z
, B23K 1/19 E
, B23K 1/19 K
, B23K 35/22 310 A
引用特許:
前のページに戻る