特許
J-GLOBAL ID：200903061332975565
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-152226
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330972
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 雰囲気制御を好適に行える基板搬送装置を提供する。【解決手段】 基板保持アーム1の上方に吹き出し部6を配設し、基板保持アーム1とともに移動させる。吹き出し部6とクリーンユニット8との間はチューブ状のダクト7で連結されている。クリーンユニット8にはファン9やフィルター11が内設され、ファン9で圧送され、フィルター11で所要の除去成分が除去された空気がダクト7を介して吹き出し部6に供給され、基板保持アーム1に保持された基板Wに向けて吹き出され、基板Wの周囲の空間が所要の雰囲気に形成・維持される。
請求項（抜粋）：
基板処理部や基板受渡し部等の搬送ポジション間の基板の搬送を行う基板搬送装置において、基板を保持する保持手段と、気体を圧送する気体圧送手段と、前記圧送される気体から所定の除去成分を除去する除去手段と、前記気体圧送手段によって圧送され、前記除去手段によって除去成分が除去された気体を前記保持手段に保持された基板に向けて吹き出す吹き出し部と、少なくとも前記保持手段と前記吹き出し部を複数の搬送ポジション間で移動させる移動手段と、前記気体圧送手段と前記除去手段と前記吹き出し部を連結する連結手段と、を備え、少なくとも前記気体圧送手段を各搬送ポジションに対して固定設置したことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B08B 5/02
, F24F 7/06
H01L 21/68 A
, B08B 5/02 Z
, F24F 7/06 C
