特許
J-GLOBAL ID：200903061334175159
ペリクル及びペリクルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-293199
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148871
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 ペリクル枠の端面に、マスクに粘着するための粘着剤が単層に塗布されたペリクルにおいて、粘着剤につなぎ目がなくマスクに粘着したときに粘着剤との間に隙間が発生せず、また、粘着剤とマスクとの粘着力が適度に弱められマスクから剥離したときにマスク上に粘着剤が残らず、粘着剤の糸曳引きによる汚染のないペリクル及び室温で塗布可能な粘着剤を形成するペリクルの製造方法を提供する。【構成】 粘着剤として液状の紫外線硬化型樹脂を硬化させたものを用いるペリクルおよび液状の紫外線硬化型樹脂を室温で塗布した後、紫外線照射し硬化させることにより粘着剤層を形成するペリクルの製造方法。
請求項（抜粋）：
ペリクル枠の片端面にペリクル膜が貼付され、その反対側の端面にペリクルをマスクに粘着するための粘着剤が塗布されたペリクルにおいて、粘着剤として液状の紫外線硬化型樹脂を硬化させたものを用いることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
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