特許

J-GLOBAL ID：200903061338769649

移動案内装置

発明者： 崎野 茂夫 ,  小山内 英司 ,  根岸 真人 ,  堀越 康夫 ,  井上 充 ,  小野 一也
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177381
公開番号（公開出願番号）：特開平8-318439
出願日： 1988年01月22日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【課題】 極めて高精度に移動案内させることができる移動案内装置を得ること。【解決手段】 基準面を有する定盤と、該基準面上でガイドに案内されて第1方向に移動する第1移動体と、前記第1方向とは交差する第2方向に移動する第2移動体とを有し、前記第1及び第2移動体は共に前記基準面上に静圧軸受で支持され、基準面に垂直な方向に関し他の移動体に対して互いに非拘束となっていると共に、前記第1移動体と第2移動体の少なくとも一方に設けた予圧機構を設けたこと。

請求項（抜粋）：

基準面を有する定盤と、該基準面上でガイドに案内されて第1方向に移動する第1移動体と、前記第1方向とは交差する第2方向に移動する第2移動体とを有し、前記第1及び第2移動体は共に前記基準面上に静圧軸受で支持され、基準面に垂直な方向に関し他の移動体に対して互いに非拘束となっていると共に、前記第1移動体と第2移動体の少なくとも一方に設けた予圧機構を設けたことを特徴とする移動案内装置。

IPC (2件)：

B23Q 1/26 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B23Q 1/26 ,  H01L 21/68 K ,  B23Q 1/26 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-127932
  
• 特開昭61-290231