特許
J-GLOBAL ID：200903061341186930
走査型近接場顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063144
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257812
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【目的】近接場顕微鏡のプロ-ブの先端に非線形光学物資を付与し、この物質の作用により発生する光を選択的に検出する事により高感度に表面情報を検知出来るようにする。【構成】図2のように先端に非線形光学物質を付与されたプロ-ブを図1のように試料表面近傍を走査するための走査装置8に取り付け、光源1により入射された光により生ずるエバネッセント光中を走査し、エバネッセント光と非線形物資との相互作用により生じる光を検出する。
請求項（抜粋）：
試料表面に光を照射し、試料表面近傍に発生させたエバネッセント光を、試料表面に接近させたプローブを走査しながら検出することによって試料表面の像を得ることができる走査型近接場顕微鏡において、先端に非線形光学物質を有するプローブを用い、該プローブが前記試料表面に接近した際に該非線形光学物質の作用により直接的、又は間接的に発生するひとつ又は複数の光のみを選択して検出する事を特徴とする走査型近接場顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
