特許
J-GLOBAL ID：200903061345697335
ハンドラのトレイ搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-089382
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279067
出願日： 1997年04月08日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】 トレイの厚さを変更した場合に、トレイ位置検出センサの取付位置の変更を不要にする。【解決手段】 空トレイ・バッファステージ9において、最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に1段構成のトレイ位置検出センサ30が取付けられる。制御部18は、ローダ部10より空トレイが空トレイ・バッファステージ9の空トレイの上に重ねられると、エレベータ21をΔH=Wd-(Wd-Ws)/2(Wdはトレイ2枚重ねの厚さ、Wsはトレイ1枚分の厚さ)だけ下降させ、然る後トレイ位置検出センサ30がトレイを検出したとき、少なくとも2枚重ねであると判断し、検出しないときは1枚のみで正常と判断する。
請求項（抜粋）：
DUT(被試験デバイス)を収容したトレイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のトレイが所定の高さになるように常時調整され、その最上段のトレイのDUTをソークステージに供給するローダ部と、イグジットステージより搬送された試験済のDUTを最上段のトレイに収納し、その最上段のトレイの下に、既に満杯になったトレイをエレベータ上に多段に載置し、最上段のトレイの上面が所定の高さになるように常時調整されるアンローダ部と、多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上段の空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整される空トレイ・バッファステージと、前記ローダ部の最上段のトレイが空になると、その空トレイを前記空トレイ・バッファステージの最上段のトレイの上に重なるように搬送し、前記アンローダ部の最上段のトレイが試験済のDUTで満杯になると、そのトレイの上に重なるように、前記空トレイ・バッファステージの最上段の空トレイを搬送するトレイキャリアと、各部の動作を制御する制御部と、を有するハンドラのトレイ搬送装置において、1段構成のトレイ位置検出センサが、前記空トレイ・バッファステージの前記所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられ、前記制御部は、前記ローダ部より空トレイが前記空トレイ・バッファステージの空トレイの上に重ねられると、その空トレイ・バッファステージの前記エレベータをΔH=Wd-(Wd-Ws)/2(Wdはトレイ2枚重ねの厚さ、Wsはトレイ1枚分の厚さ)だけ下降させ、然る後前記トレイ位置検出センサがトレイを検出したとき、搬送されたトレイは少なくとも2枚重ねであると判断し、検出しないとき、搬送されたトレイは1枚のみで正常であると判断することを特徴とする、ハンドラのトレイ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 D
, G01R 31/26 Z
