特許

J-GLOBAL ID：200903061347813855

電子結合を持つ微小機械加工振動ジャイロスコープ、及び方法

発明者： ホブズ ラリー ピー ,  ワン フェイユー
出願人/特許権者： ビーイーアイ テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-551104
公開番号（公開出願番号）：特表2007-519925
出願日： 2005年01月04日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：

一般的には、新しく、改良された微小機械加工振動ジャイロスコープ、及び方法を提供することが、本発明の目的である。本発明のもう1つの目的は、振動するマス間の機械結合を必要としない、上記の特徴のジャイロスコープ、及び方法を提供することである。

請求項（抜粋）：

駆動軸、及び検出軸に沿って、互いに独立して動くように基板上に取り付けられた、物理的に分離された複数のマスと、 電気信号を加えて、前記マスの共振周波数を調整することにより、駆動モード及び/又は検出モードにおいて、前記マスを電子的に相互に結合する手段と、 を備えることを特徴とする、微小機械加工振動ジャイロスコープ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (6件)：

2F105BB01 ,  2F105BB11 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11